๐ค ์์ก์ ๋ ์ ์
ํ๊ตญ๊ณผ ๋ค๋๋๋์ ๋ ์ ์์ด ๋ง๋, ๊ธ๋ก๋ฒ ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต๊ธ๋ง ์ฌํธ์ ์ ์ ์ ์ผ๋ก ๋์ํ๊ฒ ๋ค๋ ๊ฒฐ์ ์ ๋ด๋ ธ์ต๋๋ค. ํ๊ตญ์ด ์ ์ธ๊ณ์ ์ผ๋ก ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต๊ธ๋ง์ ์ค์ํ ์์น๋ฅผ ์ฐจ์งํ๋ ๋ค๋๋๋์ ์์ ์ก์์ผ๋ก์จ, ์ํธ ๊ฐ๋ ฅํ ํํธ๋์ญ์ ๊ตฌ์ถํ๊ฒ ๋ค๋ ๋ช ํํ ์๋๋ฅผ ๋ณด์ฌ์ค๋๋ค. ํนํ ๋ค๋๋๋๋ ์ ์ธ๊ณ์์ ์ ์ผํ๊ฒ EUV ๋ ธ๊ด ์ฅ๋น๋ฅผ ์์ฐํ๋ ASML์ ๋ณด์ ํ๊ณ ์์ด, ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต๊ธ๋ง์์ ๊ฒฐ์ฝ ๋น ์ง ์ ์๋ ํต์ฌ ๊ตญ๊ฐ์ ๋๋ค.
๐ EUV ๋ ธ๊ด์ฅ๋น: 7nm ์ดํ์ ๋ฐ๋์ฒด ์ด๋ฏธ์ธ ๊ณต์ ์ ํ์์ ์ผ๋ก ์ฐ์ด๋ ์์ฐ ์ฅ๋น์ ๋๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ์จ์ดํผ์ ๋ฏธ์ธํ ์ ์ํ๋ก๋ฅผ ๋น์ผ๋ก ๊ทธ๋ ค๋ด๋ฉฐ, ๋ค๋๋๋ ๊ธฐ์ ์ธ ASML์ด ๋ ์ ์ ์ผ๋ก ์์ฐํฉ๋๋ค.
๐ ์ฌ์ ์ต์ด ๋ฐ๋์ฒด ๋๋งน
์ ์ํ๋ด์ ๊ณ๊ธฐ๋ก ๋ ๊ตญ๊ฐ๋ ๋ฐ๋์ฒด ๋๋งน์ ๋งบ์์ต๋๋ค. ๊ณต๋ ์ฑ๋ช ๋ฌธ์ ํน์ ๊ตญ๊ฐ์์ ๋ฐ๋์ฒด ๋๋งน์ ๋ช ๊ธฐํ๋ ๊ฑด ํ๊ตญ๊ณผ ๋ค๋๋๋ ๋ชจ๋ ์ฒ์์ด๋ผ ์๋ฏธ๊ฐ ํฝ๋๋ค.
๐๏ธ ๊ฐ๊ตญ๊ณผ ๊ฐ๊ตญ์ ๋ง๋จ
์ด๋ฌํ ๋๋งน ๊ตฌ์ถ์ ์๊ตญ์ด ์ด๋ฏธ์ธ ์ ์กฐ ๊ณต์ ๋ถ์ผ์์ ๊ฒฝ์๋ ฅ์ ๋์ฑ ๊ฐํํ ๊ฒ์ผ๋ก ์ ๋ง๋ฉ๋๋ค. ์ด๋ฏธ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ ๊ฐ๊ตญ์ธ ํ๊ตญ๊ณผ ์ฒจ๋จ ์ฅ๋น ๋ถ์ผ์์ ๊ฐ์ ์ ๊ฐ์ง ๋ค๋๋๋์ ๋ง๋จ์ ์ํธ ๋ณด์์ ์ธ ๊ด๊ณ๋ฅผ ๋์ฑ ๊ฐํํ ๊ฒ์ ๋๋ค.
๋ฌด์จ ์ผ์ด์ผ?
๐ ๋ํต๋ น์ ๋ฐ๋์ฒด ์๋ฐฉ
์ง๋ 11์ผ, ์ค์์ด ๋ํต๋ น์ ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต๊ธ๋ง ํ๋ ฅ์ ๊ฐํํ๊ฒ ๋ค๋ฉฐ ๋ค๋๋๋ ์๋ฐฉ์ ๋์ฐ์ต๋๋ค. ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ํ๊ตญ๊ณผ ๋ค๋๋๋์ ๋ฐ๋์ฒด ํ๋ ฅ ๊ด๊ณ๋ ๋๋งน ๊ด๊ณ๋ก ๊ฒฉ์๋๋๋ฐ์. ์๊ตญ์ ์ธ๋ ฅ ์์ฑ๋ถํฐ ์ ์กฐ ๊ณผ์ ๊น์ง ๋ฐ๋์ฒด ๋ถ์ผ์ ์ ๋ฐ์ ๊ฑธ์น ํ๋ ฅ์ ์ถ์งํ ์์ ์ ๋๋ค.
๋ฌด์จ ๋๋งน์ธ๋ฐ โ
์ด๋ฌํ ๋๋งน์ ์๊ตญ์ด ๋ฐ๋์ฒด ๊ด๋ จ ์ ์ฑ ์ ๋ ผ์ํ๋ '๋ฐ๋์ฒด ๋ํ์ฒด'๋ฅผ ์ ์คํ์์ ์๋ฏธํฉ๋๋ค. ๋ํ, ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต๊ธ๋ง ์๊ธฐ๋ฅผ ๊ทน๋ณตํ๊ธฐ ์ํ ํ์์ฒด๋ฅผ ๊ตฌ์ฑํ๊ณ , ์๊ตญ์ ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ๊ณผ ๊ธฐ๊ด์ด ์ฐธ์ฌํ๋ ์ฒจ๋จ ๋ฐ๋์ฒด ์์นด๋ฐ๋ฏธ๋ฅผ ์ค๋ฆฝํ๊ธฐ๋ก ํฉ์ํ์ต๋๋ค. ์ด ์์นด๋ฐ๋ฏธ๋ ์ฒจ๋จ ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต์ ๊ธฐ์ ์ ํ์ตํ๊ณ ๋ฏธ๋ ์ธ๋ ฅ์ ํ๋ณดํ๋ ๋ฐ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํ ๊ฒ์ ๋๋ค.
๐ ๊ด๊ณ ๋ฐ์ ์ ๊ทธ๋ ์ด๋
๋ํ, ๋ ๋๋ผ๋ ๊ตญ๋ฐฉ, ์ฌ์ด๋ฒ์๋ณด, ์์ ๋ถ์ผ ๋ฑ์์๋ ํ๋ ฅ์ ํ๋ํ๊ธฐ๋ก ํฉ์ํ์ต๋๋ค. ์ด์๋ ๊ตญ๋ฐฉ ํ๋ ฅ์ ๊ดํ ์ํด๊ฐ์ ์ฒด๊ฒฐ, ์ธ๊ณต์ง๋ฅ์ ์ฑ ์ ์๋ ๊ตฐ์ฌ์ ์ด์ฉ์ ๊ดํ ๊ณ ์๊ธ ํ์ ๊ณต๋ ์ฃผ์ต, ์์ ๊ฑด์ค ๋ฐ ์ด์ ๋ฑ ์์ ์ ์ฃผ๊ธฐ ํ๋ ฅ ๊ฐํ ๋ฑ์ด ํฌํจ๋์ด ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ํฉ์๋ ํ๊ตญ๊ณผ ๋ค๋๋๋์ ๊ด๊ณ๋ฅผ ๋์ฑ ๋ฐ์ ์ํค๊ณ ๊ทธ ํํธ๋์ญ์ ์ ๊ทธ๋ ์ด๋ํ๋ ๊ณ๊ธฐ๊ฐ ๋ ๊ฒ์ ๋๋ค.
ํ๊ตญ ๋ฐ๋์ฒด ์์ฅ์ ๋ฏธ์น ์ํฅ์?
๐ก ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ๊ฒฉ์ฐจ ํ๋ณด
ํ๊ตญ๊ณผ ๋ค๋๋๋์ ๋ฐ๋์ฒด ๋๋งน์ ํ๊ตญ์ด ๋ฏธ๋ ๋ฐ๋์ฒด ์์ฅ์์ ๊ธฐ์ ์ ์ฐ์๋ฅผ ํ๋ณดํ๋ ๋ฐ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํ ๊ฒ์ผ๋ก ์ ๋ง๋ฉ๋๋ค. ํ์ฌ ์ ์ธ๊ณ ์ฃผ์ ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ๋ค์ด 2nm ๊ณต์ ๊ธฐ์ ์ ๋ํ ๊ฒฝ์์ ๋ฒ์ด๊ณ ์๋ ๊ฐ์ด๋ฐ, ํ๊ตญ์ด ๋ค๋๋๋์ ASML์์ ํต์ฌ ์ฅ๋น ๊ธฐ์ ์ ํ๋ณดํ๊ฒ ๋๋ค๋ฉด, 660์กฐ ์ ๊ท๋ชจ์ ์ด ์์ฅ์์ ํ๊ตญ์ด ํฐ ์ฐ์๋ฅผ ๊ฐ์ง ์ ์์ ๊ฒ์ ๋๋ค.
๐ฎ ๊ณต๊ธ๋ง ๋ฆฌ์คํฌ ์ํ๋ ๊น
ํ๊ตญ๊ณผ ๋ค๋๋๋๊ฐ ๊ณต๊ธ๋ง ์๊ธฐ์ ๊ณต๋ ๋์ํ๊ธฐ๋ก ํ๋ฉด์ ์์ ์ ์ธ ์ฅ๋น ์กฐ๋ฌ์ ๊ฐ๋ฅ์ฑ๋ ์ปค์ง๋๋ค. ์ผ์ฑ์ ์๋ ์ด๋ฏธ 3nm ๊ณต์ ๊ธฐ์ ์ ์์ฐํ๊ณ ์์ด EUV ์ฅ๋น๊ฐ ํ์์ ์ธ๋ฐ, ์ด ์ฅ๋น๋ 1๋ ์ ์ฝ 40๋๋ฐ์ ์์ฐ๋์ง ์์ ์ ์ธ๊ณ ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ๋ค์ด ์ค์ ์๊ณ ์์ต๋๋ค.
๐ฐ๐ท ์ปค์ง๋ ํ๊ตญ ๋ฐ๋์ฒด์ ํ
๊ตญ๋ด ๋ฐ๋์ฒด 1,2์ ๊ธฐ์ ์ธ ์ผ์ฑ์ ์์ SKํ์ด๋์ค๋ ์ด๋ฒ ์๋ฐฉ์ ๋์ฐธํ์์ต๋๋ค. ์ผ์ฑ์ ์๋ ASML๊ณผ ํจ๊ป 1์กฐ ์์ ํฌ์ํ์ฌ ๊ตญ๋ด์ ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต๋์ฐ๊ตฌ ๊ฐ๋ฐ(R&D)์ผํฐ๋ฅผ ์ค๋ฆฝํ๊ธฐ๋ก ํ์์ต๋๋ค. ์ด๋ ASML์ด ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ ๊ธฐ์ ๊ณผ ๊ณต๋์ผ๋ก ํด์ธ์ R&D์ผํฐ๋ฅผ ์ค์นํ๋ ์ฒซ ์ฌ๋ก์ ๋๋ค. ๋ํ, SKํ์ด๋์ค๋ ASML๊ณผ ํจ๊ป EUV ์ฅ๋น์ ์ ๋ ฅ ์ฌ์ฉ๋์ ์ค์ด๋ ๊ธฐ์ ์ ๊ณต๋์ผ๋ก ๊ฐ๋ฐํ๊ธฐ๋ก ํ์์ต๋๋ค.
์ ๋๋ผ ๋ฐ์์
๐ข ๋ถ๋ฝ๋ค๋ ์ผ๋ณธ
๋ฐ๋์ฒด ๊ฐ๊ตญ์ผ๋ก ๊ฑฐ๋ญ๋๋ ค๋ ์ผ๋ณธ์ ์ด๋ฒ ๋๋งน์ ๋ํด ์์ฌ์์ ํํํ์ต๋๋ค. ์ผ๋ณธ์ ASML์ ๋ผ์ด๋ฒ๋ก ์ธ์๋๋๋ฐ์. ํ๊ตญ์ ์๊ตญ์ ํํธ๋๋ก ์ผ์ ์ ์๋ ๊ธฐํ๋ฅผ ๋ค๋๋๋์ ๋บ๊ธด ์ ์ ๋๋ค.
๐ก ๋ฐ๋ํ๋ ์ค๊ตญ
์ด๋ฒ ๋๋งน์ด ๋ฏธ๊ตญ์ ๋์ค๊ตญ ๊ฒฌ์ ์ ๋ต์ ๋์กฐํ๋ ๊ฒ์ด๋ผ๋ฉฐ ๋ถํธํ ๊ธฐ์์ ๋ด๋น์ณค์ต๋๋ค. ๋ฏธ๊ตญ์ ์ง๋ํด 10์, ๋ค๋๋๋์์ ์์ฐ๋๋ ์์คํ ๋ฐ๋์ฒด์ D๋จ ๊ด๋ จ ์ฅ๋น์ ๋์ค๊ตญ ์์ถ์ ๊ท์ ํ์์ต๋๋ค. ์ด์ ๋ํด ์ค๊ตญ์ ํ๊ตญ์ด ์ค๊ตญ์ ๋ฐฐ์ ํ๊ณ ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต๊ธ๋ง์ ์ฌํธํ๋ค๋ฉด, ์คํ๋ ค ๋ถ์์ฉ์ ์ด๋ํ ์ ์๋ค๊ณ ๊ฒฝ๊ณ ํ์์ต๋๋ค.